Effect of MW-ECR plasma hydrogenation on polysilicon films based solar cells
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Effect of Temperature on Electrical Parameters of Phosphorous Spin–on Diffusion of Polysilicon Solar Cells
Effects of temperature on electrical parameters of polysilicon solar cells, fabricated using the phosphorous spin-on diffusion technique, have been studied. The current density–voltagecharacteristics of polycrystalline silicon solar cells were measured in dark at different temperaturelevels. For this purpose, a diode equivalent model was used to obtain saturation current densi...
متن کاملthe effect of genre-based teaching on reading comprehension of literary texts
تحقیق حاضر به بررسی کاربرد روش ژانر-محور را در محیط آموزش زبان عمومی می پردازد.روش ژانر-محور به زبان آموزان کمک میکند که در زمینه خوانش پیشرفت کنند. بعضی از محققین معتقد اند که روش تدریس ژانر-محور به تدریج به زبان آموزان کمک می کند تا در درک ژانر های مختلف مهارت یابند (هایلند 2004).همچنین امروزه توجه روز افزونی به اهمیت استفاده از ادبیات در برنامه آموزشی زبان انگلیسی (esl/efl ) شده است. زمانی ک...
15 صفحه اولOptical characterization of polysilicon thin films for solar applications
We report on the results of the investigation of optical properties and structure of PECVD deposited thin films of hydrogenated polysilicon determined by UV–Vis and IR spectroscopy. The influence of the hydrogen dilution of silane plasma at the PEVCD deposition on the film properties was investigated. The refractive index, the optical band gap energy and the microstructure of hydrogen and oxyge...
متن کاملUltrathin Oxide on Polysilicon by ECR(Electron Cyclotron Resonance) N2O Plasma
We have developed a process of growing ultrathin oxide on polysilicon layer by using Electron Cyclotron Resonance (ECR) N2O plasma. Sub-4 nm thick polyoxide on n+ and p+ polysilicon layer were grown and characterized. The oxides have relatively large breakdown voltage, small electron trapping and QBD up to 7 C/ for polyoxide on p+ cm2 polysilicon and up to 5 C/ for polyoxide on n+ polysilicon u...
متن کاملthe effect of lexically based language teaching (lblt) on vocabulary learning among iranian pre-university students
هدف پژوهش حاضر بررسی تاثیر روش تدریس واژگانی (واژه-محور) بر یادگیری لغات در بین دانش آموزان دوره پیش دانشگاهی است. بدین منظور دو گروه از دانش آموزان دوره پیش دانشگاهی (شصت نفر) که در سال تحصیلی 1389 در شهرستان نور آباد استان لرستان مشغول به تحصیل بودند انتخاب شده و به صورت قراردادی گروه آزمایش و گواه در نظر گرفته شدند. در ابتدا به منظور اطمینان یافتن از میزان همگن بودن دو گروه از دانش واژگان، آ...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Energy Procedia
سال: 2010
ISSN: 1876-6102
DOI: 10.1016/j.egypro.2010.07.021